컴퓨터, 마이크로일렉트로닉스 및 정보 기술의 발전과 함께 전자 제조 산업의 급격한 성장이 촉진되었으며, 클린룸 기술의 발전 또한 촉진되었습니다. 동시에 클린룸 설계에 대한 더 높은 요구사항이 제기되고 있습니다.

전자 제조 산업의 클린룸 설계는 종합적인 기술입니다. 전자 제조 산업의 무진 작업장 설계 특성을 온전히 이해하고 합리적인 설계를 달성해야만 전자 제조 산업의 제품 불량률을 줄이고 생산 효율성을 향상시킬 수 있습니다.

전자 클린룸의 특징

청정도 수준이 높아야 합니다. 풍량, 온도, 습도, 차압, 장비 배기가 수요에 맞춰 제어됩니다. 조도 및 클린룸 단면 풍속은 설계 또는 사양에 따라 제어됩니다. 또한 이 유형의 클린룸은 정전에 대한 엄격한 요구사항을 가지고 있습니다. 그중에서도 습도 요구사항이 특히 엄격한데, 지나치게 건조한 공장에서는 정전기가 쉽게 발생하여 CMOS 통합에 손상을 줄 수 있기 때문입니다.

1. 일반적으로 대략적인 온도는 전자 클린룸 은(는) 약 22℃로 제어해야 하며, 상대 습도는 다음 사이에서 제어해야 합니다. 50-60% (특수 클린 작업장에는 관련 온도 및 습도 규정이 있음). 이때 정전기가 효과적으로 제거되고 작업자가 편안함을 느낍니다.

2. 칩 클린룸, 집적 회로 클린룸 및 디스크 제조 작업장은 전자 제조 산업 클린룸의 중요한 구성 요소입니다. 전자 제품은 제조 및 생산 과정에서 실내 공기 환경 및 품질에 대한 요구사항이 극도로 엄격하므로, 주요 대상은 입자 및 부유 먼지 제어입니다. 동시에 환경의 온도 및 습도, 신선한 공기량, 소음에 대한 엄격한 규정이 마련되어 있습니다.

3. 소음 수준(공실 상태)은 다음에서 10,000급 전자 제조 공장 클린룸: 65dB(A)를 초과해서는 안 됩니다.

4. 전자 manufacturing plant 클린룸의 수직류 클린룸 충만도는 다음 이상이어야 합니다. 60%, 그리고 수평 단방향류 클린룸은 다음 이상이어야 합니다. 40%, 그렇지 않으면 부분 단방향류가 됩니다.

5. 전자 제조 공장의 클린룸과 외부 사이의 정압 차이는 10Pa 이상이어야 하며, 공기 청정도가 다른 클린 구역과 비클린 구역 사이의 정압 차이는 5Pa 이상이어야 합니다.