컴퓨터, 마이크로일렉트로닉스 및 정보 기술의 발전과 함께 전자 제조 산업의 급속한 발전이 촉진되었으며 클린룸 기술의 발전도 촉진되었습니다. 동시에 다음 설계에 대해 더 높은 요구 사항이 제기되었습니다. 모듈러 클린룸. 전자 제조 산업의 클린룸 설계는 종합 기술입니다.

전자 제조 산업의 클린룸(먼지 없는 작업장)의 설계 특성을 완전히 이해하고 합리적인 설계를 달성해야만 전자 제조 산업의 제품 불량률을 줄이고 생산 효율성을 향상시킬 수 있습니다.

전자 클린룸의 특징

청정도 수준이 높아야 합니다. 풍량, 온도, 습도, 차압, 장비 배기는 필요에 따라 제어됩니다. 조도 및 클린룸 단면 풍속은 설계 또는 사양에 따라 제어됩니다. 또한 전자 클린룸은 정전기에 대한 요구 사항이 매우 엄격합니다.

그중에서도 습도 요구 사항은 엄격합니다. 지나치게 건조한 공장에서는 정전기가 쉽게 발생하여 CMOS 통합에 손상을 줄 수 있기 때문입니다.

일반적으로 전자 작업장의 온도는 약 22℃로 제어해야 하며 상대 습도는 50-60% 사이로 제어해야 합니다(특수 클린 작업장에는 관련 온도 및 습도 규정이 있음). 이때 정전기를 효과적으로 제거할 수 있으며 사람이 쾌적함을 느낍니다.

칩 생산 작업장, 집적 회로 클린룸 및 디스크 제조 작업장은 전자 제조 산업 클린룸의 중요한 구성 요소입니다.

전자 제품은 제조 및 생산 과정에서 실내 공기 환경 및 품질에 대한 요구 사항이 매우 엄격하므로 주로 입자와 부유 먼지를 주요 대상으로 제어합니다. 동시에 환경의 온도와 습도, 신선한 공기의 양, 소음에 대한 엄격한 규정이 만들어집니다.

청정도에 영향을 미치는 요인

클린룸은 거대한 정화 시스템으로서 넓은 면적을 가질 뿐만 아니라 복잡한 기능 구역과 이에 상응하는 버퍼 지원 실로 나누어져야 하며, 이들이 함께 복잡한 급기 및 환기 시스템을 구성합니다.

따라서 클린룸의 청결도가 부적합하게 되는 요인은 많습니다. 주로 다음을 포함합니다:

(1) 설계 수준 및 공조 레이아웃

클린룸의 설계 수준과 공조 레이아웃은 클린룸의 청결도 수준과 직접적인 연관이 있습니다.

(2) 시공 수준

공장의 전반적인 시공 품질, 공조 시스템, 급기 시스템, 오수 시스템 및 기타 보장 설비의 설치 품질은 클린룸의 청결도와 밀접한 관련이 있습니다.

(3) 기류 조직

기류 조직이 비합리적인 경우, 급기 기류가 작업 영역을 완전히 커버할 수 없습니다.

급기 및 환기구의 위치가 비합리적이면 높고 큰 와류가 발생하며, 단방향류 클린룸의 기류 편향각이 너무 커지게 됩니다.

) 환기 그릴의 개방 면적이 비합리적으로 배치된 경우, 환기 속도가 너무 빠르고 환기가 원활하지 않습니다.

(4) 고효율 필터

고효율 필터의 품질 문제 또는 설치 문제로 인해 클린룸으로 보내지는 공기가 효과적으로 여과되지 않고, 공기 중에 부유하는 일부 먼지 입자가 여과되지 않아 클린룸 청결도가 부적합해집니다.

(5) 환기 횟수

) 환기 횟수가 부족하면 클린룸 내의 오염된 공기가 클린룸에서 신속하게 배출되지 않으며, 환기 횟수가 너무 낮으면 먼지 오염원의 확산을 억제할 수 없습니다.

(6) 정압 차

부적합한 정압 차는 클린룸이 외부 오염 물질의 유입을 차단하지 못하게 만듭니다.

(7) 에어 샤워

에어 샤워실은 클린룸 출입으로 인한 오염 문제를 줄이기 위해 클린룸에 입장하는 필수 통로로 사용됩니다. 따라서 그 품질은 클린룸의 청결도와 밀접한 관련이 있습니다.

(8) 장비 배치

실내 장비의 비합리적인 배치는 클린룸 내의 기류가 위에서 아래로, 중심에서 주변으로 흐르는 것을 방해하여 공기 난류를 유발하고 오염 물질이 클린룸에서 효과적으로 배출되는 것을 막습니다.

(9) 신규 장비 반입

신규 장비를 반입하는 과정에서는 클린룸 환경을 외부 대기와 연결해야 합니다. 따라서 장비의 반입 시간과 운송 및 설치 과정을 엄격하게 통제해야 합니다. 동시에 장비를 반입하기 전에 외부 포장을 철저히 닦고 청소해야 합니다.

(10) 화학 물질

생산 과정에서 원료 및 부산물에 포함된 화학 물질은 특정 휘발성 물질을 생성하며, 이는 클린룸의 청정결에 영향을 미칩니다.

(11) 청소 수준

클린룸의 불완전한 청소는 실내에 오염 물질이 축적되도록 하여 위생 사각지대를 발생시킵니다.

(12) 작업자와 자재의 작업

클린룸 가동 중 작업자와 자재의 이동은 오염에 민감한 작업 주변에 공기 난류를 쉽게 발생시키며, 이는 청정도의 주요 오염원입니다.

과도한 자재 유동, 과도한 작업자 수, 방진복의 부적절한 착용은 모두 과도한 분진 배출을 유발합니다.