공기 정화 필터 유닛은 일반적으로 FFU(은)는 내부 팬 어셈블리와 고효율 여과 매체로 구성된 통합형 전동 공기 정화 단말 장치입니다.

주요 작동 프로세스

신선한 외기는 공기 조화 시스템을 통해 목표 사양에 맞게 조절되고, 천장 정압 플리넘으로 유입되며, 재순환되는 반환 공기와 철저히 혼합됩니다. 통합된 FFU 팬은 이 혼합된 기류에 압력을 가해 고효율 미립자 공기(HEPA) 또는 초저미립자 공기(ULPA) 필터를 통과하도록 강제함으로써 층류 방식의 초청정 공기를 클린룸 스위트에 공급합니다. 치환된 클린룸 공기는 이중 바닥 타일이나 측벽 반환 공기 덕트를 통해 건식 냉각 코일로 다시 라우팅됩니다. 건식 코일에서 열 처리(냉각 또는 가열)를 거친 후, 공기 흐름은 정압 플리넘으로 다시 순환되어 연속적인 폐쇄 루프 클린룸 공기 여과 주기를 완료합니다.

이 구성은 반도체 집적 회로(IC) 웨이퍼 제조, TFT 디스플레이 제조, 솔리드 스테이트 드라이브(SSD) 생산 및 관련 마이크로일렉트로닉스 클린룸과 같이 초저소음 음향 성능과 엄격한 미세 오염 제어가 요구되는 시설에서 널리 활용됩니다.

주요 FFU 특징 

1. 유연한 배치가 가능한 모듈식 아키텍처

클린룸 칸막이 벽 패널이 표준 천장 그리드 모듈과 일치하고 특수 구조 조인트를 특징으로 하므로, 변경되는 제조 라인에 맞추기 위해 필요할 때 언제든지 방 칸막이를 재구성할 수 있습니다. 클린룸 레이아웃이 수정될 때 개별 FFU 위치를 이동하여 국부적인 청정도 등급 표준을 유지할 수 있습니다. 자가 구동 모듈식 정화 장치인 FFU는 고정된 덕트 작업에 구애받지 않으며, 국부적인 공기 품질 요구 사항을 충족하기 위해 유닛을 원하는 대로 재배치, 추가 또는 제거할 수 있습니다. 기존의 중앙 집중식 덕트 공기 분배 시스템은 이러한 수준의 공간 유연성을 제공할 수 없습니다.

2. 균일하고 안정적인 공기 속도

. 특수 공기 균등화 디퓨저가 장착된 엔지니어링 공기역학적 유동 채널은 필터 표면 전체에서 균일하고 안정적인 배출 속도를 보장합니다. 기존의 중앙 집중식 덕트 시스템과 비교할 때, 이 설계는 다양한 천장 공급 디퓨저 간의 기류 불균형을 제거합니다.

3. 전산 모니터링 및 상당한 에너지 절감

FFU 설치는 광범위한 덕트 작업의 필요성을 최소화합니다. 기본 외기 덕트 라우팅을 제외하고, 반환 공기의 대부분은 짧은 경로 내에서 국부적으로 순환하므로 공기 덕트 마찰과 시스템 저항이 크게 낮아집니다. 또한, FFU 배출 면속도는 일반적으로 균일한 0.45±20% 프로파일을 유지하므로, 필터 매체 전반의 동적 저항이 실질적으로 감소합니다.

FFU 팬 필터 유닛의 모터 소비 전력은 현저히 낮습니다. 유닛은 일반적으로 고효율 AC 모터를 최적화된 팬 임펠러와 결합하여 채택하며, 주로 알루미늄 합금으로 제작되어 2차 미세 입자 생성을 없애고 작동 효율을 높입니다. 기존의 중앙 집중식 공기 공급 시스템과 비교할 때, FFU 필터링을 도입하면 다음과 같은 수준의 에너지 절감 효과를 얻을 수 있습니다. 40%. 결과적으로, FFU 구성에 대한 초기 자본 지출은 더 높을 수 있지만, 지속적인 전력 소비 감소와 유지보수 요구 사항 감소는 상당한 장기적 경제적 수익을 제공합니다.

4. 가속화된 프로젝트 건설 일정

FFU 시스템은 중앙 집중식 공기 시스템의 일반적인 대형 리턴 공기 덕트가 필요하지 않기 때문에 천장 플리넘 간격이 좁은 클린룸 리노베이션에 예외적으로 적합합니다. 복잡한 덕트 제작 및 설치를 없앰으로써 전체 클린룸 건설 일정을 대폭 단축하여 기업이 프로젝트 시운전을 가속화하고 상업 생산을 더 빨리 시작할 수 있도록 합니다.

5. 부압 플리넘 안전성

FFU 전동 팬이 내부적으로 구동 정압을 자체 생성하기 때문에, 천장 공기 공급 플리넘은 클린룸 외피에 비해 부압 상태로 작동합니다. 결과적으로 정압 플리넘 내부의 미립자 오염 물질은 양압 조건 하에서 클린룸 작업 구역으로 아래로 누출될 수 없습니다.

결과적으로 천장 그리드 씰이나 공급 인터페이스가 완벽하지 않게 결합되더라도, 양압 클린룸에서 부압 공급 플리넘 위쪽으로 누출이 발생하여 더 깨끗하고 안전하며 간단한 경계 밀봉을 보장합니다.

6. 운영 비용 절감

초기 장비 투자는 덕트가 있는 중앙 집중식 환기의 투자 비용을 초과할 수 있지만, 이 시스템은 우수한 에너지 효율성과 거의 유지보수가 필요 없는 내명을 포함하여 뚜렷한 장기적 운영 이점을 제공합니다.

7. 효율적인 환기 성능

이 설계는 두드러진 특징입니다. 유닛이 자체 정압을 생성하기 때문에, 공기 공급 정압 박스는 클린룸 플랜트에 비해 부압을 유지합니다. 결과적으로 정압 박스 내부의 공기 중 미립자는 양압 상태에서 제어된 클린 영역으로 누출되지 않으므로 전체 씰이 간단하고 신뢰할 수 있게 됩니다.

8. 운영 유연성

팬 필터 장비는 통합 전원으로 작동하므로 작업장 면적이나 레이아웃에 구애받지 않고 설치할 수 있습니다. 대규모 클린룸 작업장 내에서는 정확한 운영 요구 사항에 따라 구역별로 장비를 관리하고 제어할 수 있습니다. 이러한 높은 수준의 유연성 덕분에 공간 및 기류 조절이 매우 간단해집니다.

9. 통합 공기 덕트 우회 시스템은 작동 소음과 정압 손실을 줄여 팬의 수명을 연장하는 동시에 전반적인 팬 효율을 높여줍니다.

10. 장비 수명 주기의 관점에서 볼 때, 일시적으로 가동이 중단된 유닛은 해체, 밀봉, 안전하게 보관할 수 있으며 향후 클린룸 프로젝트에 재사용하거나 재활용할 수 있습니다.

11. 이 시스템은 클래스 1 에서 클래스 1000까지의 청정도가 요구되는 클린룸용으로 설계되어 초청정 가공 라인 구축에 특히 효과적입니다. 특정 공정 요구 사항에 따라 개별 유닛으로 배치하거나, 다중 유닛 배열로 구성하거나, 직렬로 연결하여 클래스 100 조립 라인을 형성할 수 있습니다.

12. FFU 팬 필터 유닛은 다중 속도 제어 방식을 지원하고 예외적으로 낮은 전력 소비로 작동하여 시설이 지속적인 운영 비용을 효과적으로 최소화할 수 있도록 합니다.